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三氯氢硅又称硅氯仿，在常温常压下为具有刺激性氯化氢气味易流动易挥发的无色透明液体。在空气中极易燃烧，在-18℃以下也有着火的危险，遇明火则强烈燃烧，燃烧时发出红色火焰和白色烟，生成SiO2．三氯氢硅是甲硅烷的三氯代物。为一种易流动的无色液体，密度1.34克/厘米3 ；能溶于苯、氯仿和二硫化碳。

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